日本进口流量控制器流量计1/4F9 10SCCM N2
数字质量流量装置采用具有出色稳定性的高速绕线传感器和较小的比例电磁阀，并具有标准的通讯功能（RS485），可实现高精度和高速响应。
出色的零点稳定性和快速响应。
输入/输出信号为0-5V，电源为±15V。
日本进口流量控制器流量计1/4F9 10SCCM N2
数字质量流量装置采用具有出色稳定性的高速绕线传感器和较小的比例电磁阀，并具有标准的通讯功能（RS485），可实现高精度和高速响应。
出色的零点稳定性和快速响应。
输入/输出信号为0-5V，电源为±15V。
电源连接器使用多功能的D-sub 9槽连接器。
通过旋转旋转开关，可以使用主机中注册的气体类型。
符合RoHS / CE标准。
引出单元是一种方便的单元，可以与质量流量控制器或带有电缆的质量流量计一起使用，以使用质量流量的基本功能（例如流量测量和控制）以及流量积分功能和流量事件输出功能。
产品规格
| 型号 | EX-250S-C |
|---|---|
| 电源电压 | ±15V |
| 合身 | 1 / 4F900（126.6毫米） |
| 流动性 | N 2 |
| FS流量 | 10SCCM |
| 标定温度 | 20℃ |
| 输入信号 | 电压输入 |
| 输出信号 | 电压输出 |
| 工作压力 | 150〜300kPa |
| 传感器方式 | 热绕组传感器 |
| 阀门系统 | 比例电磁阀（未通电时关闭） |
| 目标气体 | N 2 |
| 流量范围 | 10SCCM |
| 控制范围 | 2〜100％（FS） |
| 反应性 | 1秒内的总流量控制范围（在±2％FS之内），150kPa***300kPa |
| 准确度 | FS±1.0％ |
| 重现性 | FS±0.2％ |
| 工作压差 | 50〜300kPa |
| ZUi大入口压力 | 500kPa（克） |
| 耐压性 | 980kPa（大） |
| 他漏率 | 1×10 -8 Pa ・ m 3 /秒以下 |
| 容许环境温度 | 5〜50℃ |
| 精度保证温度 | 15〜35℃ |
| 储存温度 | -10〜60℃ |
| 容许环境湿度 | 相对湿度10***90％（无凝结） |
| 气体接触零件 | SUS316，SUS316L，电磁不锈钢（仅控制器），PTFE，FKM |
| 电气连接 | Dsub引脚KFC标准（符合SEMI标准）HR-10A |
| 流量设定输入信号 | 0***5VDC（输入阻抗约1MΩ） |
| 流量输出信号 | 0***5VDC（负载电阻10kΩ或更高） |
| 数字信号 | 通过RS485旋转开关设置地址 |
| 所需功率（直流） | + 15VDC（±5％）100mA以下，-15VDC（±5％）150mA以下或+ 24VDC（±10％）180mA以下 |
| 安装方向 | 水平推荐 |
| 机重 | 约500克 |
| 数量 | 1个 |
| 单位 | 件 |
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