RG2 20 μm UHV 系列光栅尺是Renishaw 的真空系列产品基于既有的RG2 直线光栅系统和RESR 圆光栅系统。这些读数头由与UHV 兼容的材料和粘合剂特制而成，提供低除气率和清洁的RGA，另外还具有耗电低和发热小的特点。 RG2 真空系列产品适用于各种应用 场合，包括晶片处理/ 测试、科学仪器、 光谱仪、真空检测设备和其他更多的场 合,

UHV 系列产品
Renishaw 可提供在真空环境下使用的圆光栅和直
线光栅。查阅下表，了解如何正确匹配

                                 读数头       尺带      细分盒
直线光栅（中分辨率） RGH25U     RGB25    RGS20-S
直线光栅（高分辨率） RGH25F      RGF       RGS20-S
圆光栅                       RGH20F      RGF       RESR 20 μm

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