RG2 20 μm 光栅系列
RGH22
• 小巧坚固的外壳
• 内置细分盒和LED 安装指示灯
• 分辨率从5 μm、1 μm、0.5 μm、0.1 μm 到50 nm
• 参考零位和双限位开关传感器
• 16.0 mm x 44.0 mm x 27.0 mm (H x L x W)
RGH24
• 超小型坚固外壳
• 内置细分盒和LED 安装指示灯
• 分辨率从5 μm、1 μm、0.5 μm、0.1 μm 到50 nm
• 参考零位或单限位开关传感器
• 14.8 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (H x L x W)
RGH25
• 超小型坚固外壳
• 外置细分盒配有LED 安装指示灯
• 分辨率从5 μm、1 μm、0.5 μm、0.1 μm 到50 nm
• 参考零位或单限位开关传感器
• 10.5 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (H x L x W)
• 超高真空系统可选 — 参见第13 页
RGH25F
• 超高分辨率
• 分辨率有2 μm、50 nm、20 nm 和10 nm 可选
• 参考零位
• 自调节电路提供低周期误差 (SDE)
• 自动增益控制和自动偏移量控制
• 10.5 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (H x L x W)
• 超高真空系统可选
• 与Mitsubishi Melservo® 串行通讯口兼容的读数头
• 小巧坚固的外壳
• 内置细分盒和串口转换
• 分辨率有5 μm、1 μm、0.5 μm 可选(Mitsubishi 串行输出)
• 参考零位和双限位开关传感器
• 16.0 mm x 44.0 mm x 27.0 mm (H x L x W)
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