千斗工业科技有限公司专业代理日本yutaka-crown压力调节器，减压阀， 压力调整器 L81系列是专为半导体工艺制造气体设计的产品，具有二级减压结构。基本结构为外部金属密封和焊接接头规格，是具有优良外,

千斗工业科技有限公司专业代理日本yutaka-crown压力调节器，减压阀， 压力调整器

• L81系列是专为半导体工艺制造气体设计的产品，具有二级减压结构。基本结构为外部金属密封和焊接接头规格，是具有优良外部泄漏和颗粒性能的产品。由于采用二级减压结构，不易受到原压力波动的影响，可以获得稳定的压力和流量。ZUi适合用于绝热膨胀导致温度下降较大的液化气.

入口压力	14.8 MPa 以下（Max.19.6 MPa）
调整压力	Max.0.99MPa （量程规格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.8MPa、0～0.99MPa）
气源压力波动	进口压力：每0.1MPa调整压力变化0.000007MPa
承受压力	22.2MPa（进口侧）
Cv值	0.03
工作温度	-10 *** +40°C
外部泄漏	1×10－11Pa･m3/s･He（真空法）
内容量	8.9cm（不包括3个压力表和接头）
大量的	约2.0kg
安装方法	前后面板安装用螺母安装

外观

• L88系列是专为半导体生产气体B2H6设计的产品，采用二级减压结构。作为抑制B2H6减压生成产物的措施，中间压力为3MPa，调节阀结构为平密封式，采用PCTF调节阀座抑制缺陷。它也非常适用于绝热膨胀变化较大的 NF3。

规格

入口压力	14.8MPa以下
调整压力	Max.0.99MPa （量程规格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa）
气源压力波动	进口压力：每0.1MPa调整压力变化0.00075MPa
承受压力	22.2MPa（进口侧）
Cv值	0.08
工作温度	-10 *** +40°C
外部泄漏	1×10－11Pa･m3/s･He（真空法）
内容量	12.58cm（不包括3个压力表和接头）
大量的	约2.4kg
安装方法	前后面板安装用螺母安装

外观

[备注]
■ 单位：mm
■ 请注意，每个尺寸如有更改，恕不另行通知。

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