兆声波通过喷头内液体传播。
适用于半导体晶圆、硬盘、FPD等片状物的清洗。
不仅节省液体量，也可以对表面和边缘进行有效清洗。
可实现硬盘等两面清洗。
独自振子结构可发挥更高的清洗效果。
清洗位置固定，设置简单。
